Cu ETCHANT 49-1
Copper Etchant 49-1은 고순도의 제품으로 Cu, GaAs의 Etching에 사용되는 제품입니다. Cu 49-1은 또한 lead free technology에 대응하기 위하여 100% tin과 tin 97%-Silver 3%의 Solder에 대하여 Attack하지 않습니다.
또한 Gold, Nickel, Nickel-Vanadium alloys에 대해서도 뛰어난 Selectivity를 가지고 있습니다.
COMPATIBILITY :
| | Al | Au | Cr | Cu | Ni | Si | Si3N4 | SiO2 | Ti | W | GaAs | Ta/TaN |
| Cu 49-1 | Ok | Ok | Ok | Etch | Ok | Ok | Ok | Ok | Ok | Ok | Etch | Ok |
Etch = significant attack / Slight = Slight attack / Ok = No Attack / Surf ox = Surface Oxidation /
Corrode = Surface Corrosion
Selectivity of about 10:1 for "slight" and selectivity > 1000:1 for "ok" or "no attack"
PROPERTIES :
| | Copper Etchant 49-1
|  |
| Appearance | Clear, Colorless liquid |
| Operating Temperature | 30~40℃ |
| Storage Temperature | 4.4 ~ 15.5℃ |
| Resist compatibility | Nega & Posi |
| Etch Rate @ 30℃ | 22 Å/sec |
| pH | 6-7 |
| Rinse | Distilled, Dionized Water |
| Shelf Life | 1 Year |
APPLICATION :
• Cu 49-1을 원하는 사용 온도로 서서히 가열하여 사용하시기 바랍니다.
• 온도는 60도 이하까지만 가열하여 사용하여 주십시오.
• 지속적인 agitation이 필요합니다.
• Cu 49-1은 고순도의 raw materials과 1018Mohm'cm resitivity DI Water를 사용하여 제조됩니다.
• 제품의 pH는 Ammonium Hydroxide를 포함한 수치 입니다.
